蒸鍍:讓材料加熱氣化(發(fā)射出粒子),再沉積到基片上成膜。 濺射:用離子轟擊,將靶材原子打出來,再沉積到基片上成膜。
(1)輝光放電直流濺射 (2)射頻濺射 (3)磁控濺射
最新試題
不屬于影響成核過程的因素有()
氣相生長的基本原理:氣相原子或分子運動到晶體表面,在一定的條件下被晶體吸收,形成穩(wěn)定的()。俘獲吸附原子,臺階運動蔓延整個表面,便生長一層晶體薄膜。
臨界驅動力指維持確定半徑的晶核所需要的()驅動力。
什么是非奇異面?()
關于液相燒結正確的說法有()
薄膜的生長過程主要包含哪幾種類型?()
固相燒結的驅動力主要來源于坯料的()
氣相生長晶體的關鍵是()
影響CVD質量的因素有()
低維材料主要包括()