填空題等離子增強(qiáng)反應(yīng)沉積中,由于等離子體中()、()和()相互碰撞,可以大大降低沉積溫度,例如硅烷和氨氣的反應(yīng)在通常條件下,約在850℃左右反應(yīng)并沉積氮化硅,但在等離子體增強(qiáng)反應(yīng)的條件下,只需在350℃左右就可以生成氮化硅。
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