這種顯微鏡用電子束透射樣品，用磁透鏡使散射的電子聚焦成像。

掃描探針顯微鏡的一種，用細小的探針在樣品表面進行掃描，通過檢測針尖和樣品間隧道效應(yīng)電流的變化形成物像。

通過在物體表面移動一種敏銳的探針來研究表面特征的顯微鏡（如掃描隧道顯微鏡）。

這種電子顯微鏡用電子束掃描樣品表面，收集從表面發(fā)出的二次電子形成樣品的表面圖像。

能辨析兩點之間最小距離的能力，距離越小，分辨率越高。