單項選擇題光刻加工采用的曝光技術(shù)中具有最高分辨率的是（）。
A.電子束曝光技術(shù)
B.離子束曝光技術(shù)
C.X射線曝光技術(shù)
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1.單項選擇題光刻加工的工藝過程為：（）
A.①氧化②沉積③曝光④顯影⑤還原⑦清洗
B.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦擴散
C.①氧化②涂膠③曝光④顯影⑤去膠⑦還原
2.單項選擇題在進(jìn)行納米級測量非導(dǎo)體的零件表面形貌時，常采用的測量儀器為（）。
A.光學(xué)顯微鏡
B.掃描隧道顯微鏡
C.原子力顯微鏡
3.單項選擇題FMS非常適合（）。
A.大批大量生產(chǎn)方式
B.品種單一、中等批量生產(chǎn)方式
C.多品種、變批量生產(chǎn)方式
4.單項選擇題計算機集成制造技術(shù)強調(diào)（）。
A.企業(yè)的經(jīng)營管理
B.企業(yè)的虛擬制造
C.企業(yè)的功能集成
5.單項選擇題下列哪種說法不符合綠色制造的的思想（）。
A.對生態(tài)環(huán)境無害
B.資源利用率高，能源消耗低
C.為企業(yè)創(chuàng)造利潤