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問答題

【簡答題】膜厚的量測方法有哪些？

答案：大致上可分為原位量測、離位量測兩類
原位星測系指鍍膜進(jìn)行中量測，普遍使用在物理氣相沉積，如微天平、光學(xué)、電阻量...

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【簡答題】薄膜要有良好的附著力，必須具有哪些基本特性？

答案：（1）接口層原子之間須有強(qiáng)的化學(xué)鍵結(jié)，最好是有化合物的形成或化學(xué)吸附，理吸附是不夠的
（2）低的殘存應(yīng)力，這可...

【簡答題】沉積的薄膜有內(nèi)應(yīng)力的存在，其來源為何？

答案：

（1）薄膜和基材之間的晶格失配
（2）薄膜和基材之間的熱膨脹系數(shù)差異
（3）晶界之間的互擠

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