占據(jù)晶格位置的外來原子稱為替位雜質(zhì)。只有當(dāng)替位雜質(zhì)的近鄰晶格上出現(xiàn)空位,替位雜質(zhì)才能比較輕易地運動到近鄰空位上。
加熱蒸發(fā)源,使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出,形成蒸汽流并入射到硅片(襯底)表面,凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。