名詞解釋

替位式擴散

答案:

占據(jù)晶格位置的外來原子稱為替位雜質(zhì)。只有當(dāng)替位雜質(zhì)的近鄰晶格上出現(xiàn)空位,替位雜質(zhì)才能比較輕易地運動到近鄰空位上。

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名詞解釋

蒸發(fā)鍍膜

答案:

加熱蒸發(fā)源,使原子或分子從蒸發(fā)源表面逸出,形成蒸汽流并入射到硅片(襯底)表面,凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。

名詞解釋

濺射鍍膜

答案: 濺射鍍膜是利用電場對輝光放電過程中產(chǎn)生出來的帶電離子進行加速,使其獲得一定的動能后,轟擊靶電極,將靶電極的原子濺射出來,...
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