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【簡答題】為提高CMOS集成電路的抗自鎖能力,可在版圖設(shè)計(jì)上采取哪些措施?
答案:
合理布置電源接觸孔,減小橫向電流密度和橫向電阻。采用偽收集極。采用保護(hù)環(huán)。
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答案:
工藝文件中的層次定義和給定的版圖設(shè)計(jì)規(guī)則。
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答案:
DRC:檢查版圖中同層、不同層間圖形的線寬、間距是否滿足工藝的最小尺寸要求。
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