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答案：

利用某種物理過程，例如蒸發(fā)或者濺射現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)物質(zhì)的轉(zhuǎn)移，即原子或分子由源轉(zhuǎn)移到襯底表面上，并淀積成薄膜。

答案：

就是快速退火，即降低退火溫度，或者縮短退火時(shí)間完成退火。