對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見故障有（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。