對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見(jiàn)故障有（）。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。

弧焊機(jī)器人的焊接設(shè)備主要是由（）組成。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？