（）又稱“島式加工單元”。

工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國內(nèi)外IT 業(yè)界和社會關(guān)注的焦點(diǎn)之一。它可以分為標(biāo)識、感知、處理、信息傳送四個環(huán)節(jié)。其中“感知”對應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

RF 電源適用的設(shè)備是（）。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？