判斷題采用激光偏振檢測系統(tǒng)可確定硅片表面疵病的性質(zhì),即區(qū)分疵病是劃痕、裂痕、麻點、灰塵、油污膜層或其他缺陷。

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1.單項選擇題關(guān)于壓電掃描器缺點敘述錯誤的是()

A.電壓相對位置、位移無滯后
B.晶體膨脹期間不可預(yù)測的力矢量
C.居里溫度引起的溫度限制,低溫下壓電效應(yīng)的降低
D.柔性鉸鏈的設(shè)計對環(huán)境噪聲的放大