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判斷題飛點掃描法是利用一個線光源照明待檢測表面，并利用單個探測器和多面體進行光信號接收。

1.判斷題空間調(diào)制光束的產(chǎn)生光路中設(shè)置了相互垂直的光闌。

2.判斷題激光掃描時光束直徑d所產(chǎn)生的半影影響無法消除。

3.判斷題采用激光偏振檢測系統(tǒng)可確定硅片表面疵病的性質(zhì)，即區(qū)分疵病是劃痕、裂痕、麻點、灰塵、油污膜層或其他缺陷。

4.單項選擇題關(guān)于壓電掃描器缺點敘述錯誤的是（）

A.電壓相對位置、位移無滯后
B.晶體膨脹期間不可預(yù)測的力矢量
C.居里溫度引起的溫度限制，低溫下壓電效應(yīng)的降低
D.柔性鉸鏈的設(shè)計對環(huán)境噪聲的放大

5.判斷題激光衍射是一種有效的全場測量。