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問答題

答案：硅片表面污染的來源主要有以下幾方面：
（1）有機(jī)物沾污：包括切、磨、拋工藝中的潤滑油脂；石蠟、松香等粘合劑；...

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答案：半導(dǎo)體芯片制造工藝對水質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，純水質(zhì)量對半導(dǎo)體芯片的性能、質(zhì)量、成品率有極大的影響。隨著高度集成復(fù)雜電路和微波...