從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

物聯(lián)網(wǎng)（Internet of things）被稱為是信息技術(shù)的一次革命性創(chuàng)新，成為國內(nèi)外IT 業(yè)界和社會(huì)關(guān)注的焦點(diǎn)之一。它可以分為標(biāo)識(shí)、感知、處理、信息傳送四個(gè)環(huán)節(jié)。其中“感知”對(duì)應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)為（）。

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

UTM300B 泵的特點(diǎn)是什么（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。