多項選擇題使用氦氣檢漏的原因是（）。

A.體積小
B.惰性氣體
C.無污染
D.容易驅(qū)散


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1.多項選擇題UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

A.可調(diào)整排氣速度
B.可調(diào)節(jié)腔體真空度
C.無需流量調(diào)節(jié)閥
D.降低故障風(fēng)險

2.多項選擇題油擴(kuò)散泵的優(yōu)點是什么（）？

A.構(gòu)造簡單、故障少
B.價格低廉
C.低振動低噪音
D.可高速運轉(zhuǎn)

3.多項選擇題離子濺射泵的特點是什么（）？

A.無機械運動部分
B.無振動
C.無需再生
D.無噪音

4.多項選擇題屬于高真空泵的是哪一種（）？

A.分子泵
B.擴(kuò)散泵
C.油回轉(zhuǎn)泵
D.低溫泵

5.多項選擇題油擴(kuò)散泵的缺點是什么（）？

A.噪音大
B.需要水冷擋板
C.啟動停止需要時間
D.存在油污染