問(wèn)答題寫(xiě)出分辨率（R）公式及簡(jiǎn)述提高分辨率的方法。
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1.問(wèn)答題寫(xiě)出數(shù)值孔徑（NA）公式。
2.問(wèn)答題簡(jiǎn)述正膠和負(fù)膠區(qū)別。
3.問(wèn)答題簡(jiǎn)述什么是光刻膠、光刻膠的用途、光刻對(duì)光刻膠的要求。
4.問(wèn)答題簡(jiǎn)述光刻工藝的8個(gè)基本步驟。
5.問(wèn)答題簡(jiǎn)述部分離子注入工藝的作用。
最新試題
材料根據(jù)流經(jīng)材電流的不同可分為三類(lèi)（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
從設(shè)計(jì)的觀點(diǎn)出發(fā)，版圖設(shè)計(jì)規(guī)則應(yīng)包括哪些部分？
題型：?jiǎn)柎痤}
MOS器件存在哪些二階效應(yīng)？
題型：?jiǎn)柎痤}
編寫(xiě)DRC版圖驗(yàn)證文件的主要依據(jù)是什么？
題型：?jiǎn)柎痤}
試用電導(dǎo)率為102/（Ω·cm），厚1μm的材料設(shè)計(jì)1kΩ的電阻，設(shè)電阻寬1μm，求其長(zhǎng)。
題型：?jiǎn)柎痤}
什么是電阻率？它的單位是什么（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)單位制）？
題型：?jiǎn)柎痤}
MOS器件按比例縮小后對(duì)器件特性有什么影響？
題型：?jiǎn)柎痤}
20世紀(jì)上半葉對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)量展做出貢獻(xiàn)的4種不同產(chǎn)業(yè)主要是（）。
題型：多項(xiàng)選擇題
試述兩種傳輸線(xiàn)電感，比較其優(yōu)缺點(diǎn)。
題型：?jiǎn)柎痤}
規(guī)定版圖幾何設(shè)計(jì)規(guī)則的意義是什么？
題型：?jiǎn)柎痤}