UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會有哪些好處（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。

（）又稱“島式加工單元”。

檢漏儀分析管的離子源作用有（）。

定期應該對變頻器進行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

工業(yè)機器人在裝配行業(yè)應用的優(yōu)勢主要體現(xiàn)在，一是競爭優(yōu)勢，二是（），三是靈活性。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？

當機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

從外圍設備要重新啟動一度暫停的程序，要使用（）輸入。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常（）？