名詞解釋
用金屬薄膜填充通孔以便在兩層金屬間形成電連接。
穿過各種介質(zhì)從某一金屬層到毗鄰金屬層形成電通路的開口。
硅芯片內(nèi)部的器件與第一金屬層間在硅片表面的連接。
由導(dǎo)電材料,如鋁、多晶硅和銅制成的連線將電信號傳輸?shù)叫酒牟煌糠??;ミB也被用于芯片上器件和器件整個封裝之間的金屬連接。
問答題
界面陷阱電荷、可移動氧化物電荷。
摻雜物、晶體晶向、壓力、溫度、水蒸氣。