填空題光刻中影響甩膠后光刻膠膜厚的因素有()、()、()、()。
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圖a中M1和M2為某CMOS工藝中的兩個NMOS管,M1的W/L=12μm/6μm,M2的W/L=4μm/2μm,其它物理參數(shù)及偏置均相同。圖b中給出了M1的漏極電流Id1隨Vgs的變化曲線,請畫出Id2的大致變化,并說明Id1和Id2有什么不同,并解釋不同的主要原因。
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試述兩種傳輸線電感,比較其優(yōu)缺點。
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規(guī)定版圖幾何設(shè)計規(guī)則的意義是什么?
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為提高CMOS集成電路的抗自鎖能力,可在版圖設(shè)計上采取哪些措施?
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利用2μm×6μm的多晶硅柵極覆蓋在4μm×12μm薄氧化層的正中間構(gòu)成一個MOS管,已知Cox=5×10-4pF/μm2,估算柵極電容。
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版圖DRC、ERC和LVS的意義是什么?
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在圖中,若所有的晶體管都工作在飽和區(qū),求M4的漏電流。
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集成電容主要有幾種結(jié)構(gòu)?
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