問答題簡述法刻蝕的優(yōu)缺點(與濕法刻蝕比)。
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從設(shè)計的觀點出發(fā),版圖設(shè)計規(guī)則應(yīng)包括哪些部分?
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利用2μm×6μm的多晶硅柵極覆蓋在4μm×12μm薄氧化層的正中間構(gòu)成一個MOS管,已知Cox=5×10-4pF/μm2,估算柵極電容。
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題型:問答題
版圖DRC、ERC和LVS的意義是什么?
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